МЕТОД ВЫЧИСЛЕНИЯ ЭНЕРГИИ
ИЗУЧЕНИЕ ПРОФИЛЕЙ ПОВРЕЖДЕНИЙ И РАСЧЕТ ЭНЕРГИИ ИОНОВ ГАЛЛИЯ И МЫШЬЯКА ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ НА ГЕРМАНИЙ
978-620-0-89801-2
6200898014
60
2020-04-21
26,90 €
rus
https://images.our-assets.com/cover/230x230/9786200898012.jpg
https://images.our-assets.com/fullcover/230x230/9786200898012.jpg
https://images.our-assets.com/cover/2000x/9786200898012.jpg
https://images.our-assets.com/fullcover/2000x/9786200898012.jpg
Проведен вычислительный расчет профилей потерь и повреждений энергии при имплантации ионов галлия и мышьяка независимо от аморфного германия при ионной имплантации. С помощью SRIM были рассчитаны необходимые энергии для легирования ионов галлия и мышьяка на германий с целью получения максимального повреждения при 600 Å. Эти энергии при самостоятельной имплантации на германий вызывают производство германиевых катушек, пар вакансий и интерстициальных пар, а также фононов в процессе столкновения. Для иона галлия 130 кэВ энергия, используемая для ионизации, производства фонов и создания вакансий, составляет 37 713 кэВ (29,01%), 90 006 кэВ (64,29%) и 8,71 кэВ (6,7%), соответственно, а для мышьяка 140 кэВ энергия, используемая для ионизации, производства фонов и создания вакансий, составляет 39 634 кэВ (28,31%), 90 888 кэВ (64,92%) и 9 478 кэВ (6,77%), соответственно. Также оцениваются объемы целевых перемещений, коллизий замены и вакансий.
https://www.morebooks.de/books/hu/published_by/sciencia-scripts/398690/products
Applikációs szoftverek
https://www.morebooks.de/store/hu/book/%D0%BC%D0%B5%D1%82%D0%BE%D0%B4-%D0%B2%D1%8B%D1%87%D0%B8%D1%81%D0%BB%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D1%8F-%D1%8D%D0%BD%D0%B5%D1%80%D0%B3%D0%B8%D0%B8/isbn/978-620-0-89801-2