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Étude par microscopie à force atomique

du transfert de la rugosité de bord après chaque étape technologique de fabrication d''une grille de transistor

Editions universitaires europeennes (2010-10-12 )

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ISBN-13:

978-613-1-53170-5

ISBN-10:
6131531706
EAN:
9786131531705
Book language:
French
Blurb/Shorttext:
Ce travail de thèse s''inscrit dans le contexte de miniaturisation des transistors MOS afin de mener la technologie CMOS à ces dimensions ultimes. Avec les techniques actuelles de fabrication et pour des longueurs de grille de transistor inférieures à 30nm, les variations moyennes de la longueur de grille, appelées rugosité de bord, entraînent des fluctuations électriques dans le transistor inacceptables pour le bon fonctionnement des futures générations de dispositifs. Il convient donc de contrôler ce paramètre afin de le réduire. Pour réussir ce défi technologique, il est essentiel de le mesurer avec précision afin, par la suite, de comprendre ses origines et son évolution après chaque étape technologique de fabrication. Dans ce travail de thèse, nous nous sommes intéressés à la mesure la rugosité de bord, à l''aide d''un nouvel équipement de métrologie: le microscope à force atomique en trois dimensions. Nous avons évalué les capacités de cet outil et déterminé un protocole de mesure de la rugosité de bord, qui nous a permis ensuite d''étudier ses origines et d''étudier son évolution lors des différentes étapes technologiques de fabrication d''une grille de transistors MOS.
Publishing house:
Editions universitaires europeennes
Website:
http://www.editions-ue.com/
By (author) :
Jerome Thiault
Number of pages:
176
Published on:
2010-10-12
Stock:
Available
Category:
Technology
Price:
59.00 €
Keywords:
Nanotechnologie, Microélectronique, Transistor MOS, Rugosité de bord, métrologie, Microscope à Force Atomique, Gravure Plasma

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